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HORIBA推出新的模块化椭偏仪Uvisel Plus
【导读】近日，HORIBA公司宣布推出新的模块化椭偏仪——UviselPlus，旨在提高薄膜测量的灵活性。近日，HORIBA公司宣布推出新的模块化椭偏仪——UviselPlus，旨在提高薄膜测量的灵活性。该设备配备了尖端的FastAcq采集技术，利用新的电子数据处理和高速单色仪，可以在三分钟内完成190到2100nm范围内的样品高分辨率测量。该设计的另一个关键因素是其在光路中不包含旋转元件或附加组件，为精确的椭偏参数测量提供最纯净和高效的偏振调制。UviselPlus为图案样本的微孔提供低至50μm，可变
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