SJ5700表面轮廓仪测量方法
SJ5700轮廓仪采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度,采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标,计算机通过修正算法对光栅数据进行修正,最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来,通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。
轮廓仪为全自动测量设备,操作者只需装好被测工件,在检定软件上设定扫描的开始、结束位置,点击【开始】按钮,测针会自动接触工件表面,并按设定的位置扫描;在进行轮廓扫描的过程中,软件界面会实时描绘轮廓曲线;扫描结束后,操作者可通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行分析,得到如直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。
主要技术指标:
1.X轴
1) 测量范围:0~200mm;
2) 示值误差:±(0.8+2L/100)μm,其中L为水平测量长度,单位:mm;
3) 分辨率:0.01μm;
4) 直线度:2μm/200mm
5) 测量速度:0.1~5mm/s;
6) 移动速度:0~30mm/s;
2.传感器Z1轴
1) 测量范围:±25mm;
2) 示值误差:±(1.6+|2H|/100) μm,其中H为垂直测量高度,单位:mm;
3) 分辨率:0.01μm;
3.Z轴
1) 测量范围:0~450mm;
2) 移动速度:0~30mm/s;
4.测量力:10~150mN;
5.爬坡能力:上坡77º,下坡83º;
6.仪器尺寸(长×宽×高):花岗岩平板800×450×100mm ;整机:850×500×1100mm;
7.仪器总重量:约150㎏;
8. 使用环境:无强磁场,无振动,无腐蚀气体
工作温度:20℃ ±2℃
相对湿度:40-60%
SJ5700-200轮廓仪产品解决方案.pdf
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