京仪装备温控系统相关技术获2018北京市科学技术奖

发布日期：2019-03-14 来源： 中国仪表网 浏览次数：23625

　　2019年3月1日，北京市科学技术奖励大会暨2019年全国科技创新中心建设工作会议”在北京会议中心召开。会上，北京市领导为2018年度北京市科学技术奖获奖单位颁奖，对科技工作者为首都科技事业发展作出的贡献致以崇高敬意和热烈祝贺。

　　212项成果荣获2018年度北京市科学技术奖，包括一等奖24项，二等奖58项，三等奖130项。这些成果服务创新型国家建设，面向国际前沿热点领域，支撑经济高质量发展，全面提升了全国科技创新中心的引领性和影响力。

　　其中，由京仪集团推荐申报的京仪装备公司“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用”项目荣获三等奖。半导体专用温控装置(Chiller)为京仪装备自主研发产品，由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成一个自我平衡的循环装置，主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，产品性能处于国际较高水平。

　　2018年度北京市科学技术奖，由企业主持完成的获奖成果达到87项，占比41%，再创新高。其中，越来越多的科技型中小微企业崭露头角，并展现出竞争力强、活力足、业态新等突出特点，成为了科技创新中心建设的重要力量。

　　北京京仪自动化装备技术有限公司，是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，主要产品包括半导体温控装置系列(Chiller)、机器人系列(Wafer Sorter/AMR)、废气处理装置系列(Local Scrubber)等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。公司着力发展半导体高端装备，不断巩固和发展高科技产业的战略地位和竞争优势，矢志成为行业领导地位的中国半导体附属设备领军企业。

　　京仪装备技术研发团队秉承工匠精神，坚持自主创新、精益求精，成功打破了国外垄断，为推进我国半导体事业发展、增强北京在全球科技竞争中的影响力贡献了一份力量。

　　(资料来源：北京市科学技术委员会网站，中国仪器仪表行业协会，北京京仪自动化装备技术有限公司)

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