《激光衍射法纳米光栅线距校准规范》征求意见稿发布

发布日期：2018-10-27 来源： 中国仪表网 浏览次数：28366

　　10月25日，全国新材料与纳米计量技术委员会发布了《激光衍射法纳米光栅线距校准规范》征求意见稿，并面向有关单位征求意见。

　　随着微纳科技与微纳产业的快速发展，各类电子和光学显微镜在微纳技术领域的保有量迅速增加。纳米光栅线距样板作为传递标准广泛应用于扫描电子显微镜、扫描探针显微镜以及光学显微镜的放大倍率的校准，是各类显微镜测量准确性的保证。

　　2006年，中国计量科学研究院研制的激光衍射仪参加了Nano5 二维光栅国际比对。2007年，中国计量科学研究院依据自编校准方法“NIM-ZY-DL-CD-501”建立了计量标准“纳米光栅线距样板校准装置”。该自编校准方法沿用至今。目前，国内尚没有合适的标准文件规范校准纳米光栅线距的方法和行为，因此迫切要求编制相应的校准规范，以保证量值溯源的准确和统一。

　　根据市场监管总局2018年国家计量技术规范制定、修订计划，受全国新材料与纳米计量技术委员会的委托，由中国计量科学研究院负责制定《激光衍射法纳米光栅线距校准规范》，同济大学作为参加单位参与了本技术规范的制定工作。

　　JJF1001《通用计量术语及定义》、JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1059《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列规范。

　　在本规范编制过程中，重点参照了以下国家标准及计量技术规范：JJF 1001-2011 通用计量术语及定义；JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示；JJF 1071-2010 国家计量校准规范编写规则GB/T 13962-2009 光学仪器术语；IEC/TS 62622:2012 Nanotechnologies – Description, measurement anddimensional quality parameters of artificial gratings。

　　按照JJF 1071—2010《国家计量校准规范编写规则》的要求制定纳米光栅线距的衍射法校准规范，在内容和格式上与JJF 1071-2010 保持一致。校准规范的具体内容有范围、引用文件、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果的表达、复校时间间隔等。(更多详情请见附件)。

　　本规范为发布，适用于反射光栅的校准。

相关资料下载：激光衍射法纳米光栅线距校准规范（征求意见稿）.pdf

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