南网科研院研发芯片级直流电场MEMS传感器

发布日期：2017-09-04 来源： 中电新闻网 浏览次数：14111

　　近日，南网科研院在特高压工程技术(昆明)国家工程实验室成功测试了自主研发的芯片级直流电场MEMS传感器。这是国际上将微机电系统(MEMS)技术应用于直流输电电场测量，可广泛应用于电力行业的设备精细化设计、在线监测、电磁环境评估，以及气象部门的雷电观测预警、电动汽车驾驶舱电场检测、航空器等升空后大气环境电场监测等领域。

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　　与传统的场磨型传感器相比，MEMS传感器尺寸小，重量轻，仅为场磨型传感器的1‰，功耗低，仅有3毫瓦，同时由于体积小可减少畸变，大大提高测试精度。该小微传感器是南网科研院依托基础性课题《基于MEMS和无线供能技术的集成直流合成电场传感技术研究》于近期成功研制出的样片。该样片通过将静电梳齿驱动和单层侧壁式感应电极结构刻蚀在300微米厚的二氧化硅晶圆上，形成5毫米 x 4毫米 x 0.3毫米的传感器芯片，以此为核心与外围电路共同封装研制构成传感器样机。

　　南网科研院探索研发的这个芯片级MEMS传感器，也是国内外将MEMS技术应用于直流输电电场测量，可广泛应用于电力行业的设备精细化设计、在线监测、电磁环境评估，以及气象部门的雷电观测预警、电动汽车驾驶舱电场检测、航空器等升空后大气环境电场监测等领域，解决了传统测量装置精度低、可靠性差、不适用于狭窄空间测量等问题，市场前景广阔，应用价值巨大。

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