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微电子和半导体用检验系统 DM3 XL
在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快。
视场宽敞 30%
DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。
更多细节尽收眼底，工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件，DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下，缺陷无所遁形：
- 提高您的收益率
- 可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
- 检测不均匀的径向膜厚度
适用于所有相衬观察方法的 LED
DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
- 在所有亮度等级下实现真彩色成像
- 自由调节
- 无需更换灯泡 – 无停机时间
- 可复制的结果
由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。
不同样品 – 可变载物台插件
无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择：
- 载物台尺寸：150 mm x 150 mm
- 载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
- 快速的粗略或精准载物台定位
