cvd高温管式气氛炉

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品牌: JK08-13-2A
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更新: 2021-03-25
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 CVD高温管式气氛炉

型号:JK08-13-2A

详细说明:

CVD高温管式气氛炉

1、用途:

CVD管式气氛炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等实验。

2、产品特点:

可根据用户需要设计生产(二温区、三温区、多温区),可预抽真空,通多种气氛。真空泵、阀采用进口设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程序控制技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。在预热方式上设有本公司自主研发的自动升温预热程序。在程序下完全不需要操作人员监看、调整工作电流,可将工作人员从繁琐的操作中解放出来。本系列CVD高温管式气氛炉制造技术已达国内领先水平。

3、技术参数:

型号

JK08-13-2A

设计温度

1000-1300℃

控温精度

±1℃

极限真空度

-0.01mpa(机械泵)

温区

双温区

管径长度

Ф100*1200

输入功率

9KW

电源电压

AC380V

加热原件

硅碳棒、镍铬丝