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扩展型等离子清洗器PDC—002型型号规格：PDC—002 整机规格：9×18×11（长×宽×高）英寸 （228×457×279）mm 反应舱规格：Φ6×L6英寸耐热玻璃 （Φ152×L152）mm 反应舱有效容积：2.8L 输入电源：220 V／50Hz 整机输入功率：200 W 射频功率档：低档716V DC、10mA DC、7.16W 中档720V DC、15mA DC、10.15W 高档740V DC、40mA DC、29.6W 常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等特征：紧凑的台式设备，没有RF幅射，符合CE安全标准。反应舱盖具备铰链、磁力锁及可视窗口。选配件：石英等离子清洗舱 提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混合器Plasma FloTM 需要：兼容的真空泵，最小速率为1.4 m3/hr，最大极限为200 MTorr 包括：1/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力 等离子流混合器Plasma FloTMPDC—FMG—2型 Harrick Plasma FloTM等离子流混合器是一台可任选的用于在等离子清洗过程中，气体流混合和压力监视的仪器。主要应用于样品的表面改性。Plasma FloTM为用户提供了在样品腔中加入两种气体使之混合的可能。它带有一个准确的真空表和两个气体流量计，Plasma FloTM与等离子清洗器的结合，为用户创造了一种全新、动态的研究平台。型号规格：PDC—FMG－2 整机规格：8×8×10.5（长×宽×高）英寸 （203×203×267）mm 整机重量：13磅 （5.9kg）常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等用作分别计量两种过程气体流量的双标准过程气体流量计（1.0SCFH和2.0SCFH）。
